DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等離子清洗機配有真空腔，射頻電源，真空泵，控制系統(tǒng)，流量控制系統(tǒng)。
DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等離子清洗機產(chǎn)品簡介：
設備簡介：
1、真空腔
采用進口材料制作而成，焊接無漏氣，*優(yōu)化 8 層電*設計合理利用空間，專業(yè)等離子發(fā)生方式，絕緣可靠良好。
2、射頻電源
*全可靠的射頻電源(13.56MHz)，為等離子的產(chǎn)生提供保障。
3、真空泵
快速靜音抽真空系統(tǒng)設計，真空度可至 10pa 以內(nèi)，保證設備使用的各個需求壓力。
4、控制系統(tǒng)
PLC+觸摸屏自動控制系統(tǒng)設計，方便客戶使用和操作。
5、流量控制系統(tǒng)
專業(yè)閉環(huán)流量控制系統(tǒng)，保證工藝氣體的準確，確保等離子的效果的穩(wěn)定。
裝機前準備：
1、壓縮空氣：≥0.5mpa，?6mm PU 管
2、工藝氣體：AR&O2(純度：≥99.999%)0.15～0.25mpa，?6mm PU 管
3、廢氣排放：?50mm 接口
4、主電源：≥ 4mm2 電源線(三相五線)，5.7KW Main
設備工作流程：
1、真空抽?。簩a(chǎn)品放置腔體內(nèi)，關上腔體門，打開真空泵，將真空腔內(nèi)氣壓從常壓抽至 30pa(自行設置)以內(nèi);
2、添加工藝氣體：將準確流量的工藝氣體添加至真空腔室內(nèi)，均勻分布;
3、產(chǎn)生等離子：射頻電源提供能量電離真空腔內(nèi)的工藝氣體，形成等離子體;
4、產(chǎn)品處理：根據(jù)設置時間處理產(chǎn)品的等離子處理時間;
5、破真空：產(chǎn)品處理完成后，打開破真空電磁閥，將真空腔壓力恢復至常壓取出產(chǎn)品。
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