Surface Particle QV 表面塵埃粒子計(jì)數(shù)器用于測(cè)量各種高潔凈度要求的產(chǎn)品,光學(xué)鏡片組件、液晶面板及超凈微環(huán)境受控的半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)等表面所附著的塵埃粒子的粒徑大小及單位面積內(nèi)的數(shù)量。
SFP-QV表面塵埃粒子計(jì)數(shù)器產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
Surface Particle QV 表面塵埃粒子計(jì)數(shù)器用于測(cè)量各種高潔凈度要求的產(chǎn)品,光學(xué)鏡片組件、液晶面板及超凈微環(huán)境受控的半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)等表面所附著的塵埃粒子的粒徑大小及單位面積內(nèi)的數(shù)量。
核心零部件(光學(xué)傳感器)及控制器等采用美國(guó)萊特浩斯所生產(chǎn)的組件來(lái)保證該產(chǎn)品的測(cè)量精度。
外殼采用SUS316L不銹鋼制作,并經(jīng)表面鈍化處理。彩色觸摸液晶屏顯示操作,檢測(cè)光學(xué)傳感器采用美國(guó)進(jìn)口整機(jī),
吸氣的氣泵為旋片式進(jìn)口氣泵,并可通過(guò)流量傳感器來(lái)自動(dòng)調(diào)節(jié)氣泵的運(yùn)行流量,使其保持在一個(gè)穩(wěn)定的檢測(cè)流量范圍內(nèi),
表面測(cè)試探頭根據(jù)德國(guó)同類產(chǎn)品進(jìn)行改良優(yōu)良,并配有防靜電軟管與主機(jī)連接,其于用排氣及吸氣過(guò)濾的囊式過(guò)濾器。內(nèi)部濾材為德國(guó)進(jìn)口,從而保證儀器的檢測(cè)精度及運(yùn)行穩(wěn)定性。
表面粒子計(jì)數(shù)器由三部分組成:
掃描取樣頭:取樣的同時(shí)可以提供一定壓力的吹掃氣流,可以集成操作控制器;
激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器主機(jī):主要由氣泵、傳感器、主控板、過(guò)濾器以及電池組成;
連接主機(jī)與掃描采樣頭的管道:包括取樣管道與吹掃管道。