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日本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣體質(zhì)量流量控制器是搭載有壓電閥、可在高溫環(huán)境中使用的質(zhì)量流量控制器。

日本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品簡介：

質(zhì)量流量計(jì)是用來測量或控制氣體流量的一種設(shè)備。流量一般分為體積流量和質(zhì)量流量，但是氣體的體積易受到外界的溫度和壓力的影響，如需準(zhǔn)確測量，需不斷的改變測量條件來配合不斷改變的外界環(huán)境。而質(zhì)量流量，是利用測量氣體的質(zhì)量，而質(zhì)量是不受外界的環(huán)境的影響，從而可以提供高精度流量檢測和控制，且在半導(dǎo)體制造制程有廣泛的使用。

日本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)：

它是搭載有壓電閥、可在高溫環(huán)境中使用的質(zhì)量流量控制器。

1.適用于高溫：可滿足150℃烘焙

2.產(chǎn)品陣容中有可滿足使用溫度的產(chǎn)品型號(hào)

3.超清潔類型：接氣部全不銹鋼構(gòu)造

4.適于MOCVD用有機(jī)金屬材料、低蒸氣壓材料、腐蝕性氣體的流量控制

日本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)：